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电子行业用超纯水处理工艺及方案
发布时间:2013-07-15        

一、电子行业高纯水除盐装置应用范围概述:

1、电解电容器生产铝箔及工作件的清洗电子管生产 

2、电子管阴极涂敷碳酸盐配液显像管和阴极射线管生产 

3、配料用纯水黑白显像管荧光屏生产 玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水液晶显示器的生产 屏面需用纯水清洗和用纯水配液晶体管生产中主要用于清洗硅片等。 

二、电子行业超纯水工艺流程

◆典型工艺流程

预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)
◆传统工艺流程

预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)

◆最新工艺流程

1、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)

2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水终端(≥15MΩ.CM)

 


        三、处理后水质标准

经过高纯水除盐设备后,出水水质可以满足显像管、液晶显示器、集成电路用水标准。国家电子级纯水标准、美国SEMI标准。

 

四、电子行业高纯水设备特点

为满足用户生产工艺用水需求,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量。在工艺设计上,源水(市政自来水),经多介质过滤器,活性碳过滤器,钠型阳离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)装置等。系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,由PLC控制系统完成包括阻垢剂计量泵、高压泵、电动慢开门的顺序启动和停止;停运时反渗透装置的自动低压冲洗;运行过程中低压压力开关与系统的连锁运行;各转动设备的运行监测和报警等。




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